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HFGS-6341电子薄膜应力分布测试仪
HFGS-6341电子薄膜应力分布测试仪
型号:HFGS-6341
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品牌:其他品牌
价格:面议
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平整度及电子薄膜应力分布测试仪是为解决微电子、光电子科研与生产中基片平整度几薄膜应力分布的测试而设计的。它通过测量每道工序前后基片面形的变化(变形)来测量曲率半径及应力分布。应用于半导体器件研究所及监控。
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