玻璃平面度测量仪规格参数:
测量行程:300x200x150mm
测头精度:<0.5μm
测头型号:S/T
XY轴精度:E2=(3+L/200)μm
XY轴重复性:<3μm
Z轴精度:E1=(3+L/200)μm
Z轴重复性:<3μm
X、Y轴加速度:0-250mm/s^2
Z轴加速度:0-110mm/s^2
X、Y轴速度:0-150mm/s
Z轴速度:0-50mm/s
光 学 尺:1μm(0.5μm可选)
A轴
转动范围:360°
大速度 :25°/s
分 辨 率:0.00125°
精 度:<0.005°
材 质:硬铝合金
台面承重:30kg
底座材质:花岗岩
整机尺寸:620x790x875mm
整机重量:180kg
控制方式:半闭环
电源供给:110V~220V±10% 50/60HZ
环境温度:20℃
环境湿度:45%~75% |