四质谱计是在高真空条件下,离子源的电子轰击气体分子使其离化。离子进入四过滤器按不同质荷比分离,采集离子流,放大后进行数据处理,获得相应的质谱数据。
四质谱计可安装在使用者的高真空设备上进行残气分析,亦可配备适当的高真空系统和进样装置作为立的分析仪器使用。离子流采集的常规结构为法拉弟筒 / 通道倍增器复合式(即 FC/CEM )。离子流放大器的输入高阻设为10M Ω ,1G Ω,100G Ω 三挡,采用电子倍增器方式时一般选用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。仪器控制与数据处理系统适用于WindowsXP或 Windows2000,仪器提供模拟谱图,棒状谱图和多达10个离子的多离子监测谱图。数据系统的接口界面由80C 196单片机(16位)以及 A/D、D/A 等构成, RS232 串口与电脑通讯实现仪器的控制与数据处理。仪器安装方便,操作简单,
四质谱计应用与真空科学、电子、半导体工业、石油化工的催化研究等多种领域。另外,本仪器可以派生为仪器,如,已用于计量作为鉴定分子漏孔的氦四质谱计。